2020/04/27
【大成报记者于郁金/连凯斐/南科报导】科技部南部科学园区管理局辖下台南园区及高雄园区今(109)年截至4月27日止，总计引进7家厂商，累计投资金额约为新台币3.67亿元，园区有效核准厂商家数231家，近日南科管理局通过所提投资申请案-特铨股份有限公司，再为该局辖下园区增添生力军。
南科管理局说明，本次通过南科管理局所提投资申请案-特铨股份有限公司，该公司申请在南科台南园区投资设立，投资金额新台币1亿元，特铨股份有限公司为一家专业智能检测及自动化设备制造商；生产产品为光学检测设备及辅助系统，其为国内少数有能力制造半导体前段制程设备之厂商，客户涵盖国内外半导体大厂。
南科管理局表示，该公司开发之光学检测设备主要针对客户产品之缺陷检测，应用在半导体光罩及晶圆检测，并采用自行研发之光学检测技术及软件，可以快速有效检测及辨识出各种污染物、形貌、尺寸及位置，从而提高检出率及检测速度；另公司亦依各别客户之特殊制程需求，对于晶圆翘曲问题提供解决方案，并客制化无人搬运、缺陷清除、人工智能及远端监控等相关辅助系统，协助客户节省人力、费用，并快速有效提升产品之良率。(于郁金摄)
